Aichi Institute of Technology · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywords微細加工・エッチング・表面処理・生産加工

This is a public-data preview. Personalized fit, contact angles, and saved workflows require sign-in.

• Siウエットエッチングの グリーンプロセス研究
• 工具刃先の微細平滑研磨によるスローアゥエイ工具の寿命向上技術
• 液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工研究

• Official profile