中部大学 · 工学研究科/工学部 · 教授

研究キーワード欠陥準位・パワー半導体・AlGaN/GaNヘテロ構造・窒化物半導体・結晶成長・酸化物半導体・電流コラプス・プロセス技術･評価・プラズマダメージ・光容量過渡分光法

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• 2022/04/01 ～ 2025/03/31 次世代パワー半導体β-Ga2O3の固有欠陥準位の全容解明 基盤研究C2022 · 研究課題・受託研究・科研費
• 2019/04 ～ 2022/03 プラズマイオン衝撃により誘発されるp型GaNの電気的ダメージの全容解明 基盤研究(C) キーワード(Ga空孔, イオン衝撃, 欠陥準位, パワー半導体, プラズマイオン衝撃, p型GaN, プラズマイオン, CF4, ノーマリーオフ, Ar, 電気的ダメージ, 光容量過渡分光法, N空孔, Mgアクセプター)2019 · 研究課題・受託研究・科研費
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