中部大学 · 工学研究科/工学部 · 教授

研究关键词欠陥準位・パワー半導体・AlGaN/GaNヘテロ構造・窒化物半導体・結晶成長・酸化物半導体・電流コラプス・プロセス技術･評価・プラズマダメージ・光容量過渡分光法

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• HETEROINTERFACE PROPERTIES OF NOVEL HYBRID SOLAR CELLS CONSISTING OF TRANSPARENT CONDUCTIVE POLYMERS AND III-NITRIDE SEMICONDUCTOR
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• Damage characteristics of n-GaN crystal etched with N2 plasma by soft x-ray absorption spectroscopy

• 2024/07 ～ 2029/03/31 β-Ga2O3ウエハ、パワーデバイス及びパワーモジュールの開発 内閣府･経済産業省 「経済安全保障重要技術育成プログラム」2024 · 研究課題・受託研究・科研費
• 2022/04/01 ～ 2025/03/31 次世代パワー半導体β-Ga2O3の固有欠陥準位の全容解明 基盤研究C2022 · 研究課題・受託研究・科研費
• 2019/04 ～ 2022/03 プラズマイオン衝撃により誘発されるp型GaNの電気的ダメージの全容解明 基盤研究(C) キーワード(Ga空孔, イオン衝撃, 欠陥準位, パワー半導体, プラズマイオン衝撃, p型GaN, プラズマイオン, CF4, ノーマリーオフ, Ar, 電気的ダメージ, 光容量過渡分光法, N空孔, Mgアクセプター)2019 · 研究課題・受託研究・科研費
• 2016/04 ～ 2019/03 Si基板上AlGaN/GaNヘテロ構造の欠陥準位とスイッチング特性の相関解明 研究課題 基盤研究C2016 · 研究課題・受託研究・科研費

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