熊本大学 · 半導体・デジタル研究教育機構 · 教授

研究キーワード半導体デバイス・原子層堆積（ALD）・薄膜・超臨界流体・超臨界流体薄膜堆積法（SCFD)・化学気相堆積（CVD)・プロセス工学・反応工学・材料学

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