九州大学 · システム情報科学府・システム情報科学研究院 · 教授

研究キーワード低温プラズマ・プラズマCVD・酸化亜鉛窒化インジウム薄膜・大気圧プラズマ農業・プラズマ触媒メタン化・レーザー生成プラズマEUV光源・容量結合プラズマ・反応性酸素種透過

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