Kyushu University · Graduate School of Information Science and Electrical Engineering / Faculty of Information Science and Electrical Engineering · 教授

Research keywords低温プラズマ・プラズマCVD・酸化亜鉛窒化インジウム薄膜・大気圧プラズマ農業・プラズマ触媒メタン化・レーザー生成プラズマEUV光源・容量結合プラズマ・反応性酸素種透過

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• Onset of surface modification of silicon by argon plasma processing2025 · Applied Surface Science 708 2025年11月 （ ISSN: 01694332 ）
• Low-temperature step-flow growth of (ZnO)x(InN)1-x films by magnetron sputtering2025 · MRS BULLETIN 50 ( 8 ) 877 - 885 2025年6月 （ ISSN: 0883-7694 eISSN: 1938-1425 ）
• Effect of higher driving frequencies in dual-frequency discharge on plasma generation in capacitive coupled plasmas: PIC-MCC simulation2025 · AIP ADVANCES 15 ( 3 ) 2025年3月 （ eISSN: 2158-3226 ）
• Effect of low-pressure plasma-induced NO, OH, and NH reactive species on radish seedling growth2025 · PLASMA PHYSICS AND CONTROLLED FUSION 67 ( 4 ) 2025年4月 （ ISSN: 0741-3335 eISSN: 1361-6587 ）

• プラズマプロセスによる膜形成の一般則の統合研究2024 · 研究課題/領域番号： 24H00205 2024年4月 - 2029年3月
• 「重要技術管理体制強化事業（極微細加工領域の露光用光源・光学系等の重要要素技術に係る調査）」2023 · 2023年1月 - 2024年3月
• 持続可能な農業生産性向上を実現 するプラズマアグリサイエンス拠点に関する国立大学法人九州大学によ 研究開発2023 · 2023年 - 2024年
• 実験とシミュレーションの機械学習連携によるプラズマCVD における一般則の導出2022 · 2022年10月 - 2023年3月

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