大阪大学 · 工学部 / 工学研究科 · 准教授

研究キーワード大気圧プラズマ・超高周波プラズマ・シリコン厚膜形成・リチウムイオン電池負極・反射防止膜・フルオロカーボン膜・シリコン酸化膜エッチング・水素プラズマ・低反射Si表面

研究分野工学・機械工学・生産工学・加工学・応用物性・結晶工学・応用物理学・工学基礎・材料工学およびその関連分野・機械工作・生産工学・理工系

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• Formation of Porous Silicon Oxides for Single-Layer Anti-reflection Coatings on Transparent Materials Using Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma2025 · PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING Vol. 45 No. 4 p. 1247-1260 2025年7月 研究論文（学術雑誌）
• High-Rate Preparation of Fluorocarbon Film Using Tetrafluoromethane Gas and a Graphite Electrode by High-Pressure (100 Torr) Plasma2025 · ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY Vol. 14 No. 2 2025年2月1日 研究論文（学術雑誌）
• Atmospheric-pressure plasma-induced formation of heterostructured thick silicon films toward high energy density lithium-ion battery anodes2025 · JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Vol. 58 No. 38 2025年9月22日 研究論文（学術雑誌）
• Formation of Heterostructured Silicon Thick Films in Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma for Possible Application to Lithium Ion Battery Anode2025 · PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING Vol. 45 No. 4 p. 1233-1246 2025年7月 研究論文（学術雑誌）

• 完全表面の創成2002
• 完全表面の創成2001
• 大気圧プラズマCVDによるアモルファスシリコン（a-Si）薄膜の高速成膜に関する研究
• プラズマの計測と制御

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