Osaka University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 准教授

Research keywords大気圧プラズマ・超高周波プラズマ・シリコン厚膜形成・リチウムイオン電池負極・反射防止膜・フルオロカーボン膜・シリコン酸化膜エッチング・水素プラズマ・低反射Si表面

Research fieldsEngineering・Mechanical engineering・Production engineering/Processing studies・Applied materials science/Crystal engineering・Applied physics・Materials engineering and related fields・機械工作・生産工学・Science and Engineering

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