東北大学 · 工学部 / 工学研究科 · 教授

研究キーワードMEMS共振器・ナノ電気機械スイッチ・マイクロ流体熱バイオセンサー・FBAR発振器・3D NANDエッチング角・グラフェン・ポリイミド力覚センサー・MEMSスキャナ・マイクロカロリーメーター・圧電可変ファブリペローフィルタ・オンチップマイクロクヌーセンポンプ

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