東北大学 · 工学部 / 工学研究科 · 教授

研究关键词MEMS共振器・ナノ電気機械スイッチ・マイクロ流体熱バイオセンサー・FBAR発振器・3D NANDエッチング角・グラフェン・ポリイミド力覚センサー・MEMSスキャナ・マイクロカロリーメーター・圧電可変ファブリペローフィルタ・オンチップマイクロクヌーセンポンプ

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• カーボンナノチューブ複合材料の設計・合成・評価ループ構築と高機能化に関する研究橋田 俊之, 田路 和幸, 高木 敏行, 小野 崇人, 胡 寧, 大森 守, 山本 剛
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