岩手大学 · 理工学研究科/理工学科/理工学部 · 教授

研究关键词大気圧マイクロ波プラズマ・高周波放電・誘導結合プラズマ・誘電体バリア放電・マイクロギャップDBD・擬火花放電・HiPIMS・プラズマCVD・アモルファスカーボン膜・シリコンウェハエッチング

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