Iwate University · Graduate School of Science and Engineering / Department of Science and Engineering / Faculty of Science and Engineering · 教授

Research keywords大気圧マイクロ波プラズマ・高周波放電・誘導結合プラズマ・誘電体バリア放電・マイクロギャップDBD・擬火花放電・HiPIMS・プラズマCVD・アモルファスカーボン膜・シリコンウェハエッチング

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