Public Professor Archive
日本工業大学 · 基幹工学部 · 基幹工学部 機械工学科 教授大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 招へい教授
研究关键词MEMS・半導体微細加工・アクチュエータ・センサ・MEMS・水晶振動子バイオセンサ・無線センサ・水素ガスセンサ・体内埋め込み型センサ
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