Nippon Institute of Technology · Faculty of Fundamental Engineering · 基幹工学部 機械工学科 教授大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 招へい教授

Research keywordsＭＥＭＳ・半導体微細加工・アクチュエータ・センサ・MEMS・水晶振動子バイオセンサ・無線センサ・水素ガスセンサ・体内埋め込み型センサ

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• 研究室だより：日本工業大学 基幹工学部 機械工学科 微細デバイス研究室2025
• 3P3-9 再利用可能な集積型高周波無線QCMバイオセンサアレイ2025
• 3P3-9 再利用可能な集積型高周波無線QCMバイオセンサアレイ2025
• 1P3-10 圧縮応力を与えたPdAu合金を水素感応層とするQCMガスセンサー2025

• μ-TASの局所質量流量同定に関するセンシング手法構築2025
• 微小流路中の質量流量を高精度に計測可能な無線水晶振動子センサの開発2025 · 研究助成事業
• 微小流路中の質量流量を高精度に計測可能な無線水晶振動子センサの開発2025
• μ-TASの局所質量流量同定に関するセンシング手法構築2025 · 2025年度研究助成プログラム

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