佐賀大学 · 理工学部 / 理工学研究科 · 教授

研究关键词プラズマイオンプロセス・高周波プラズマ・負イオン源・回転式マルチマグネトロンスパッタ・ホロー磁化放電プラズマ・プラズマ科学・プラズマ理工学・プラズマスパッタリング・Plasma Science and Technology

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