Saga University · Faculty of Science and Engineering / Graduate School of Science and Engineering · 教授

Research keywordsプラズマイオンプロセス・高周波プラズマ・負イオン源・回転式マルチマグネトロンスパッタ・ホロー磁化放電プラズマ・プラズマ科学・プラズマ理工学・プラズマスパッタリング・Plasma Science and Technology

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• Role of anti-pole aligned hybrid multi-cusp magnetic field strength on hydrogen plasma ignition and confinement using radio-frequency powered hollow cathode discharge2026 · Physics of Plasmas
• Characterization of H2 plasma within RF-powered hollow cathode discharge equipped with hybrid multicusp magnetic field under varying inner-ring magnetic strength (Cover image selected)2025 · Journal of Vacuum Science & Technology A
• Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases2025 · Vacuum

• らせんステップ型低速電子高放出によるヘリウムのイオン・イオンプラズマ生成2023 · 科学研究費助成事業
• 高出力負イオン源実現に向けた新規ホロー磁化放電による高密度水素プラズマの生成2022 · 科学研究費助成事業
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• スモラッコウスキー効果によるネオリングホロー磁化放電の確立と負イオン生成2019 · 科学研究費助成事業

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