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東北大学 · マイクロシステム融合研究開発センター
東北大学 · マイクロシステム融合研究開発センター
研究关键词MEMS-LSI integration・through-silicon vias・CMOS-MEMS fabrication・tactile sensors・wafer-level bonding・vapor HF etching・direct Si-SiO2 bonding・open-access MEMS foundry
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