メーカー
Lasertec Corporation
Lasertecは、少数精鋭型の日本の半導体検査・計測装置企業です。光学、EUV/DUV、画像処理、機械制御、ソフトウェアを組み合わせ、先端プロセスで見つけにくいphotomask、mask blank、waferの欠陥を検出することを中核としています。